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作者 中式光刻机路线——SSMB-EUV
齐家治国


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来自: 广东省内
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于 2023-09-15 09:30  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
查询过，正式新闻媒体提及的——国内目前在搞EUV光源主要有三家：上海光机所与宇量昇（正统的国家队），广东智能机器研究院（广智院）与华中科技大学，清华大学（主导）。其中后者是最为创新、方式最为激进、颠覆性的SSMB-EUV路线，已经在雄安选址开工建设1千瓦级SSMB-EUV光源……

三砣


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于 2023-09-15 09:37  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
管他是啥，能用就好。

正黄旗
生活就是解脱
生活就是解脱

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于 2023-09-15 09:41  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
想傲江湖 wrote:

原理可行。

但不是造“光刻机”，而是造“光刻厂”，是大型化方向，不是小型化方向。

造好了就不能移动，但效率比光刻机高得多。


感觉“光刻厂”应该比现有的光刻机更难造。

因为如果造一台跟ASML一样的光刻机，只有模仿就行，需要解决的只有工艺问题。重新发明一个光刻厂，很多环节都需要验证。这个理论几十年前就有了。距离实验室验证成功和产业化还有很一长的距离呢。

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刚，刚好
玉树临风···
玉树临风···

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于 2023-09-15 09:42  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
这个在哪搞，是利用现在怀柔那个高能同步辐射光源吗。还是要新建光源

湘_点点
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于 2023-09-15 09:43  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
不明觉厉

每个人都在鄙视他人的特权，又在祈祷自己有特权，对于自己有那么点特权在沾沾自喜.
福福福福福福


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来自: 新郑
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于 2023-09-15 09:45  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
力大飞砖

电喷
星途VX2.0T星尊
星途VX2.0T星尊

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于 2023-09-15 09:52  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
看疗效！

02年的风云 15年的艾瑞泽 21年的星途揽月

想傲江湖
无照无车
无照无车

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于 2023-09-15 10:03  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
正黄旗 wrote:

感觉“光刻厂”应该比现有的光刻机更难造。

因为如果造一台跟ASML一样的光刻机，只有模仿就行，需要解决的只有工艺问题。重新发明一个光刻厂，很多环节都需要验证。这个理论几十年前就有了。距离实验室验证成功和产业化还有很一长的距离呢。


各有各的难点吧。离工业化的成熟技术或许还有距离。

但麒麟9000S是怎么来的呢？或许华为松山湖厂区就是这种技术线路的一个实验性工厂？

俗＿人


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来自: 杭州萧山
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于 2023-09-15 10:03  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
正黄旗 wrote:

感觉“光刻厂”应该比现有的光刻机更难造。

因为如果造一台跟ASML一样的光刻机，只有模仿就行，需要解决的只有工艺问题。重新发明一个光刻厂，很多环节都需要验证。这个理论几十年前就有了。距离实验室验证成功和产业化还有很一长的距离呢。
专利不用管吗

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做个俗人　贪财好色　一身正气
小菜


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于 2023-09-15 10:12  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
科技人表示没有那么乐观
但是只要0→1迈出那么一小步，那么按照中国市场的体量，迭代就非常快了

原来河水既不像老牛说得那样浅，也不像松鼠说的那样深
想傲江湖
无照无车
无照无车

发帖: 21507
来自: 江西赣州 长征出发地
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于 2023-09-15 10:20  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
正黄旗 wrote:

感觉“光刻厂”应该比现有的光刻机更难造。

因为如果造一台跟ASML一样的光刻机，只有模仿就行，需要解决的只有工艺问题。重新发明一个光刻厂，很多环节都需要验证。这个理论几十年前就有了。距离实验室验证成功和产业化还有很一长的距离呢。


造一台跟ASML一样的光刻机，路被堵死了啊，各种专利绕不过去，只有另辟蹊径。
中国目前造不出SML一样的光刻机，主要障碍在专利，不在于工艺。

SSMB-EUV线路，可以说没有专利壁垒，而原理又可行，硬着头皮也要干下去。

不但得硬着头皮干下去，还得干得又快又好，不然被西方先申请了各种专利，又会被堵路。

真自由人
来不来。。。
来不来。。。

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于 2023-09-15 10:26  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
正黄旗 wrote:

听说ASML的极紫外光刻机号称是全世界最复杂的机器。45万个配件，由24个国家，800家厂商供货。

光源的供应商全世界只有一家；镜子的供应商全世界也只有蔡司一家供应商，尼康佳能都不行。

如果一个国家自己能把所有这些东西都凑齐。差不多相当于重新发明一遍现代科技文明。

别是骗科研经费的就好。

SSMB技术2021年已经实验验证过了，现在就是工程化的问题。
按照asml光刻机光源功率，这个光源可以带动至少10台光刻机，就是太大了，直径200米。

测试够不够骚~~~~~~~~~~~~~~~~~~
正黄旗
生活就是解脱
生活就是解脱

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于 2023-09-15 10:27  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
俗＿人 wrote:
专利不用管吗


自己做自己用，又不出口卖给别人。谁管得着？

自己用的东西，越有专利的技术越好模仿。以前我们在研究所的时候，经常去专利局查外国专利。查完直接回实验室试。试验过程中可能会想一些修改替代的地方。

知道华为为什么可以在通信行业超过外国同行吗？因为这个领域的技术标准是开放的，大家确定标准以后，剩下就是回去看谁实现得又快又好。而大飞机的技术标准就不是开放的。学起来就很难。超过同行更难。

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爱迪


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于 2023-09-15 10:39  个人信息 发悄悄话 引用回复 编辑本帖 搜索发帖 复制本帖 收藏本帖 投诉该帖
土八路有土八路的战法，好用好使是王道

那这是不是义和团啊？

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