³öǽСºìÐÓ
¾üºÅ1500
·¢Ìû: 34345 À´×Ô: 0755
״̬: ÀëÏß
¾«Æ·: 24
|
ÓÚ 2017-11-12 14:10 ¸öÈËÐÅÏ¢ ·¢ÇÄÇÄ»° ÒýÓûظ´ ±à¼±¾Ìû ËÑË÷·¢Ìû ¸´ÖƱ¾Ìû Êղر¾Ìû ͶË߸ÃÌû
¹ú¼Ò¹âµçʵÑéÊÒÊ×´ÎʵÏÖ 9nm Ïß¿í¹â¿Ì ¡¡¡¡2016Äêµ×£¬»ªÖпƼ¼´óѧ¹ú¼Ò¹âµçʵÑéÊÒÄ¿Ç°ÀûÓÃË«¹âÊøÔÚ¹â¿Ì½ºÉÏÊ×´ÎÍê³ÉÁË 9nm Ïß¿í£¬Ë«Ïß¼ä¾àµÍÖÁÔ¼ 50nm µÄ³¬·Ö±æ¹â¿Ì¡£Î´À´½«ÕâÒ»¹¤³Ì»¯Ó¦Óõ½¹â¿Ì»úÉÏ¿ÉÒÔÍ»ÆƹúÍâµÄרÀû±ÚÀÝ£¬Ö±½Ó´ïµ½ EUV µÄ¼Ó¹¤Ë®Æ½¡£ ¡¡¡¡2014Äê10ÔÂÈðµä»Ê¼Òŵ±´¶û½±Î¯Ô±»á¾ö¶¨½«µ±ÄêµÄŵ±´¶û»¯Ñ§½±ÊÚÓè´òÆƹâѧÑÜÉ伫ÏÞ·¢Ã÷³¬·Ö±æÂʹâѧÏÔ΢¼¼ÊõµÄÈýλ¿Æѧ¼Ò£¬ÒÔ±íÕÃËûÃÇÔÚ³¬·Ö±æÂʹâѧ³ÉÏñ·½ÃæµÄ׿׏±Ïס£ÆäÖÐ˹µÙ·Ò¡¤ºÚ¶û½ÌÊÚ·¢Ã÷µÄSTED³¬·Ö±æ¼¼Êõ²ÉÓöþÊø¼¤¹â£¬Ò»Êø¼¤·¢¼¤¹â(Exciting Laser Beam)¼¤·¢ÏÔ΢¾µÎᄉϵÄÓ«¹âÎïÖʲúÉúÓ«¹â£¬ÁíÍâÒ»ÊøÖÐÐĹâǿΪÁãµÄ»·ÐδãÃ𼤹â(Inhibiting Laser beam)´ãÃ𼤷¢¼¤¹â²úÉúµÄÓ«¹â¡£ÕâÁ½Êø¹âµÄÖÐÐÄÖغÏÔÚÒ»Æð£¬Ê¹µÃÖ»Óд¦ÓÚÄÉÃ×¼¶»·ÐδãÃ𼤹âÖÐÐÄ´¦µÄÓ«¹â·Ö×Ó²ÅÄÜÕý³£·¢¹â£¬Í¨¹ýɨÃèµÄ°ì·¨¾Í¿ÉÒԵõ½³¬Ô½ÑÜÉ伫Ï޵Ĺâѧ³ÉÏñ¡£ ×ñÑÕâ¸ö˼·£¬»ªÖпƼ¼´óѧ¹ú¼Ò¹âµçʵÑéÊҵĸÊ×ØËɽÌÊÚÔÚ¹úÍâ¹¥¶Á²©Ê¿Ñ§Î»Æڼ䣬²ÉÓÃÀàËÆ·½·¨ÔÚ¹â¿ÌÖÆÔì¼¼ÊõÉÏÈ¡µÃ½øÕ¹£¬³É¹¦Í»ÆƹâѧÑÜÉ伫ÏÞ£¬Ê×´ÎÔÚÊÀ½ç·¶Î§ÄÚʵÏÖÁË´´¼Ç¼µÄµ¥Ïß 9nm Ïß¿í£¬Ë«Ïß¼ä¾àµÍÖÁÔ¼ 50nm µÄ³¬·Ö±æ¹â¿Ì¡£Î´À´½«ÕâÒ»¼¼Êõ¹¤³Ì»¯Ó¦Óõ½¹â¿Ì»úÉÏ£¬Äܹ»Í»ÆƹâѧÑÜÉ伫ÏÞ¶ÔͶÉäµç·³ß´çµÄÏÞÖÆ´Ó¶øʵÏÖ³¬·Ö±æ¹â¿Ì£¬ÓÐÍûʹ¹ú²ú¼¯³Éµç·¹â¿Ì»ú°ÚÍÑһζ²ÉÓøü¶Ì²¨³¤¹âÔ´µÄ¼¼Êõ·Ïß¡£ ¡¡¡¡²ÉÓó¬·Ö±æµÄ·½·¨Í»ÆƹâѧÑÜÉäµÄÏÞÖÆ£¬½«¹â¾Û¼¯µ½¸üСµÄ³ß´ç£¬Ó¦Óõ½¼¯³Éµç·¹â¿Ì¿ÉÒÔ´øÀ´Á½¸ö·½ÃæµÄºÃ´¦£ºÒ»·½Ãæ¿ÉÒÔʵÏÖ¸ü¸ßµÄ·Ö±æÂÊ£¬²»ÔÙÐèÒª²ÉÓøü¶Ì²¨³¤µÄ¹âÔ´£¬Ê¹µÃ¹â¿Ì»úϵͳÔì¼Û´ó´ó½µµÍ;ÁíÍâÒ»·½Ãæ²ÉÓÿɼû¹â½øÐйâ¿Ì£¬¿ÉÒÔ´©Í¸ÆÕͨµÄ²ÄÁÏ£¬¹¤×÷»·¾³ÒªÇ󲻸ߣ¬°ÚÍÑ EUV ¹âÔ´ÐèÒªÕæ¿Õ»·¾³¡¢¹â¿ÌÄÜÁ¿²»×ãµÄî¿°í¡£ ¡¡¡¡Ó붯éü¼¸Ç§ÍòÃÀÔªµÄÖ÷Á÷¹â¿Ì»úÄËÖÁÒ»ÒÚÃÀÔªÊÛ¼ÛµÄ EUV ¹â¿Ì»úÏà±È£¬³¬·Ö±æ¹â¿ÌÓ²¼þ²¿·ÖÖ»ÐèҪһ̨·ÉÃ뼤¹âÆ÷ºÍһ̨ÆÕͨÁ¬Ðø¼¤¹âÆ÷£¬³É±¾Ö»ÊÇÖ÷Á÷¹â¿Ì»úµÄ¼¸·ÖÖ®Ò»¡£¸ÃϵͳÔËÐÐÌõ¼þ±È×ÏÍâ¹â¿Ìκ͵ö࣬²»ÐèÒªÕæ¿Õ»·¾³£¬²»ÐèÒªÌØÊâµÄ·¢¹âºÍÕÛ¹âÔªÆ÷¼þ£¬ºÍÒ»°ã¹â¿ÌϵͳÏà±È£¬¸Ãϵͳ½ö½öÊÇÒýÈëÁ˵ڶþÊø¹â£¬ÏµÍ³¹â·Éè¼ÆÉϸĶ¯±È½ÏС£¬¹â¿Ì»ú¹¤³Ì»¯Ó¦ÓÃÏà¶ÔÈÝÒ×£¬ÓÐÏ£Íûʹ¹ú²ú¹â¿Ì»úÔڸ߶ËÁìÓòÍäµÀ³¬³µ¡¢ÓÐËùÍ»ÆÆ¡£
ÔÚÓÐÏÞµÄÉúÃüÖÐÈ´ÓжàÓàµÄʱ¼ä
|